Beschrijving
Wafer/substraatgrootte: tot 6"/150 diameter
X-, Y- en thetafase
Planariteit boven 6": <10 µm
Resolutie: 5 µm
Bewegingsbereik: 155 x 155 mm
Belastingsslag Y-as: 90 mm
Z-hoogte verstelbereik: 10 mm
Z contact/scheidingsslag: 3 mm
Thetaverplaatsing (standaard): 360°
Thetaverplaatsing, fijn (optioneel): ±10°
Klauwplaat
Planariteit: 3 µm
Verticale stijfheid 6": <15 µm/10 N
Tasterbalk
Type bevestiging: Vacuüm, magnetisch, HF
Reisbereik: 40 mm
Contact/scheidingsslag: 0,2 mm
Herhaalbaarheid: 1 µm
Hulpprogramma's
Vacuüm: -0,8 bar
Perslucht: 4 bar
Afmetingen en gewicht
Breedte x Diepte x Hoogte: 490 x 490 x480mm
Gewicht: 60 kg
Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren