Beschrijving
Aspen II Dual ICP - AGV type Configuratie :
1. Cassette platform : Cassette Rotatie of standar cassette nest uit één stuk
2. Afkoelkamer : Geïnstalleerd, nieuw type
3. Sleufdeur : Nieuw type
4. Robot Assy : Standaard, Nieuw type
5. Cassettedeur : AGV 26"
6. RF generator : AE /RFPP of Adtec X 4
7. Warmte/koel blok: Verwarmer , Nieuw type met Ciculair Groefpatroon of Waterkoelplaat met Chiller
8. RF Overeenkomende doos: Trazar AMU 10D X 4
9. Gas: 3 gassen of 4 gassen
10. Gasbox : Nieuw type
11. Achter EMO
12. Afzuigkamer met Hindge
13. Interface voor operator op afstand.
14. Wafer on paddle-sensoren geïnstalleerd.
15. CE-conform
Details Wafermaat: 4", 6" of 8" configureerbaar.
Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren