Specificaties

Functionaliteit overige
-------------------
Gewerkte uren
Uur onder stroom
Staat Goed
Volgens lokale normen ---------
Toestand

Beschrijving

Fabrikant: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTER SYSTEEM
3 TARGETEN
AUTO/HANDMATIGE KLEPPEN
DIRECTE AANDRIJVING MECHANISCHE POMP
DIFFUSIEPOMP
KAN WORDEN UITGEBREID MET EEN ROTERENDE ARMATUUR VOOR (4) 8" WAFERS

De Airco Temescal HRS 2550 is een sputtersysteem. Het heeft 3 targets, automatische/handmatige kleppen, een direct aangedreven mechanische pomp en een diffusiepomp. Heeft ook een r/f-voeding. Kan worden geüpgraded naar een gereviseerde CTI-10 Cryopompkop met compressor.
Technische gegevens
Afmetingen: 16 inch hoog x 25,5 inch
diameter (406 mm x 647,7 mm)
Bevestiging: carrousel verticaal gemonteerde substraathouders, optionele flip-flop mogelijkheid
Capaciteit: (minimum) 64 2-inch (51 mm) wafers
Afscherming: minimaal 3-sprong
Substraatwarmte: maximaal 3 kW
Aantal kathoden: maximaal drie Argon inlaat balg-verzegelde handmatige klep met doseermogelijkheid

Vacuümcabine (inclusief elektronicabehuizing): 82,5 cm hoog (met kast
bovenconsole) x 64 inch breed x 40 inch diep (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Stroomvoorziening (inclusief bedieningsconsoles):
36 inch hoog x 25,5 inch breed x 25,5 inch diep (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typische statische neersmeltsnelheden: 15,000
A/minuut aluminium, 20.000 A/minuut koper
Verdeling: � 5% met bronafscherming
Doelgrootte: 210 mm x 90 mm (8,25 inch x 3,56 inch)
Werkspanning: -400 tot -800V dc kathodepotentiaal (piekdepositiesnelheden bij
-400 tot -500V dc)
Maximaal werkvermogen: 5 KW. 0,2 tot 7A
Werkdruk: 1 x 10-2 tot 1 x 10-3 torr
Koelwater: (0,5 gpm bij 20�C) per bron

Vermogen: 5 kW, stroom instelbaar van 0,2A
tot 7A; spanning van 50V dc tot 800V dc;
drukafhankelijk
Activiteitscyclus: 100%
Meting: uitgangsstroom, 0 tot 1A, en 0 tot
10A, gelijkstroomschaal; kathode-naar-aarde spanning,
0 tot 1,5 kV dc; anode-naar-aarde spanning,
0 tot 150V gelijkstroom
Vergrendelingen: voeding, deuren van cellen, water, kamerdeksel en kamerdruk
Benodigde service: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 fase

Ultiem vacuüm: 10-8 torr bereik
Diffusiepomp: 5300 liter/seconde, 10 inch hoog x 16 inch binnendiameter
Mechanische pomp: 35 cfm (1000 liter/seconde, tweetraps)
Koudeput: 4,5 liter inhoud; 2600 vierkante inch (1,67 m2) oppervlakte
Hoogvacuümklep: 406 mm binnendiameter, balgafdichting
Hoogvacuümbypassklep: 75 mm binnendiameter, variabele geleiding
Famine- en ruwventiel: 51 mm binnendiameter
Klepbediening: elektropneumatisch (alle vacuümkleppen)
Klepvolgorde: handmatig en automatisch

Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren


Type klant Dealer
Actief sinds 2014
Aanbiedingen online 44
Laatste Activiteit 11 september 2024

Beschrijving

Fabrikant: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTER SYSTEEM
3 TARGETEN
AUTO/HANDMATIGE KLEPPEN
DIRECTE AANDRIJVING MECHANISCHE POMP
DIFFUSIEPOMP
KAN WORDEN UITGEBREID MET EEN ROTERENDE ARMATUUR VOOR (4) 8" WAFERS

De Airco Temescal HRS 2550 is een sputtersysteem. Het heeft 3 targets, automatische/handmatige kleppen, een direct aangedreven mechanische pomp en een diffusiepomp. Heeft ook een r/f-voeding. Kan worden geüpgraded naar een gereviseerde CTI-10 Cryopompkop met compressor.
Technische gegevens
Afmetingen: 16 inch hoog x 25,5 inch
diameter (406 mm x 647,7 mm)
Bevestiging: carrousel verticaal gemonteerde substraathouders, optionele flip-flop mogelijkheid
Capaciteit: (minimum) 64 2-inch (51 mm) wafers
Afscherming: minimaal 3-sprong
Substraatwarmte: maximaal 3 kW
Aantal kathoden: maximaal drie Argon inlaat balg-verzegelde handmatige klep met doseermogelijkheid

Vacuümcabine (inclusief elektronicabehuizing): 82,5 cm hoog (met kast
bovenconsole) x 64 inch breed x 40 inch diep (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Stroomvoorziening (inclusief bedieningsconsoles):
36 inch hoog x 25,5 inch breed x 25,5 inch diep (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Typische statische neersmeltsnelheden: 15,000
A/minuut aluminium, 20.000 A/minuut koper
Verdeling: � 5% met bronafscherming
Doelgrootte: 210 mm x 90 mm (8,25 inch x 3,56 inch)
Werkspanning: -400 tot -800V dc kathodepotentiaal (piekdepositiesnelheden bij
-400 tot -500V dc)
Maximaal werkvermogen: 5 KW. 0,2 tot 7A
Werkdruk: 1 x 10-2 tot 1 x 10-3 torr
Koelwater: (0,5 gpm bij 20�C) per bron

Vermogen: 5 kW, stroom instelbaar van 0,2A
tot 7A; spanning van 50V dc tot 800V dc;
drukafhankelijk
Activiteitscyclus: 100%
Meting: uitgangsstroom, 0 tot 1A, en 0 tot
10A, gelijkstroomschaal; kathode-naar-aarde spanning,
0 tot 1,5 kV dc; anode-naar-aarde spanning,
0 tot 150V gelijkstroom
Vergrendelingen: voeding, deuren van cellen, water, kamerdeksel en kamerdruk
Benodigde service: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3 fase

Ultiem vacuüm: 10-8 torr bereik
Diffusiepomp: 5300 liter/seconde, 10 inch hoog x 16 inch binnendiameter
Mechanische pomp: 35 cfm (1000 liter/seconde, tweetraps)
Koudeput: 4,5 liter inhoud; 2600 vierkante inch (1,67 m2) oppervlakte
Hoogvacuümklep: 406 mm binnendiameter, balgafdichting
Hoogvacuümbypassklep: 75 mm binnendiameter, variabele geleiding
Famine- en ruwventiel: 51 mm binnendiameter
Klepbediening: elektropneumatisch (alle vacuümkleppen)
Klepvolgorde: handmatig en automatisch

Houd er rekening mee dat deze beschrijving mogelijk automatisch is vertaald. Neem contact met ons op voor meer informatie. De gegevens van deze rubrieksadvertentie zijn slechts indicatief. Exapro raadt aan om vóór een aankoop de gegevens bij de verkoper te controleren


Specificaties

Functionaliteit overige
-------------------
Gewerkte uren
Uur onder stroom
Staat Goed
Volgens lokale normen ---------
Toestand

Over deze verkoper

Type klant Dealer
Actief sinds 2014
Aanbiedingen online 44
Laatste Activiteit 11 september 2024

Hier vindt u een selectie van vergelijkbare machines

Airco Temescal Hrs 2550 Sputtersysteem